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原子力顯微鏡的特點

 

1.高分辨力能力遠遠超過掃描電子顯微鏡(SEM),以及光學天文望遠鏡粗糙度儀。樣品表面的三維數據滿足了研究、生產、質量檢驗越來越微觀化的要求。

2.非破壞性,探針與樣品表面相互作用力為10-8N以下,遠比以往觸針式粗糙度儀壓力小,因此不會損顯微鏡傷樣品,也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對不導電的樣品進行鍍膜處理,而原子力顯微放大鏡鏡則望遠鏡不需要。

3.應用範圍廣,可用於表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸台階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD塗層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。

4.軟件處理功能強,其三維圖像顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設定。並可選用網絡、等高線、線條顯示。圖像處理的宏管理,斷面的形狀與粗糙度解析,形貌解析等多種功能。

應用實例

1.應用於紙張質量檢驗。 2.應用於陶瓷膜表面形貌分析。 3.評定材料納米尺度表面形貌特征


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